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Programmable illumination with micro mirrors

Widely used mechanical apertures in illumination systems for optical equipment and instruments can be replaced by programmable ultra fast Micro Mirror Arrays (MMAs).

Dresden, Pressemitteilung vom 30.03.2010 13:42:00

Programmable illumination with micro mirrors

In-Vision Digital Imaging Optics GmbH (Guntramsdorf, Austria) and the Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems IPMS (Dresden, Germany) together present development results on programmable illumination optics during the trade show Photonics Europe 2010 (booth 611). The trade show is held in the Square Conference Centre in Brussels (Belgium), 13 – 15 April, 2010.

Programmable illumination with micro mirrors  

Widely used mechanical apertures in illumination systems for optical equipment and instruments can be replaced by programmable ultra fast Micro Mirror Arrays (MMAs) acting as high resolution Spatial Light Modulators (SLMs). This replacement enables new or significantly improved functionalities in numerous applications. As an example, high resolution light microscopy for biological analysis or semiconductor inspection is addressed. On the trade show the partners present key components for programmable illumination systems, comprising spatial light modulators, driving electronics and software, optical components as well as a programmable illumination module prototype. Significant development contributions were carried out in the EU funded FP7 project “Micro-mirror enhanced micro-imaging” (MEMI, EU FP7, Project Reference: 215597, www.memi-fp7.org). Within this project additional project partners are KLA-Tencor (Israel), Kings College London (Great Britain) and the Institute Pasteur (France).

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Fraunhofer Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)
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Maria-Reiche-Str. 2
01109 Dresden
Deutschland/Germany
Tel.: +49-351-8823-238
Fax: +49-351-8823-266
www.ipms.fraunhofer.de

The Fraunhofer IPMS carries out customer specific developments in fields of microelectronic and micro systems technology in Dresden, serving as a business partner that supports the transition of innovative ideas into new products. The Fraunhofer IPMS develops and fabricates modern CMOS technology products in its own clean room facilities, up to small pilot series production. With modern equipment and about 230 scientists, the range of projects and expertise covers sensor and actuator systems, microscanner, spatial light modulators, lifetronics and organic materials and systems.

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Fraunhofer Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS
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Maria-Reiche-Str. 2
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Fraunhofer Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS

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